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墨子實驗室2023年12月政府采購意向【墨子實驗室自然光芯片及產(chǎn)業(yè)化項目】

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2023/12/4

為便于供應(yīng)商及時了解政府采購信息，根據(jù)《河南省財政廳關(guān)于開展政府采購意向公開工作的通知》（豫財購【2020】8號）等有關(guān)規(guī)定，現(xiàn)將墨子實驗室 2023年12（至）12月采購意向公開如下：

序號

采購單位名稱

采購項目名稱

采購需求概況

預(yù)算金額

（萬元）

預(yù)計采購時間

備注

墨子實驗室

墨子實驗室自然光芯片及產(chǎn)業(yè)化項目

<1>（8英寸）氮化物MOCVD 和氧化物MOCVD雙腔互聯(lián)系統(tǒng)（1套）；
<2>（8英寸）雙面對準(zhǔn)接觸式光刻（1臺）；
<3>（8英寸）等離子體干法蝕刻系統(tǒng)（1臺）；
<4>（8英寸）ICP系統(tǒng)（1臺）；
<5>（8英寸）原子層沉積設(shè)備（1臺）；
<6>（8英寸）雙腔PEALD系統(tǒng)（1臺）；
<7>（8英寸）熱蒸發(fā)-電子束蒸發(fā)二合一系統(tǒng)（1臺）；
<8>（8英寸）ITO生長設(shè)備（1臺）；
<9>（8英寸）電感增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（1臺）；
<10>（8英寸）晶圓鍵合設(shè)備；（1臺）；
<11>（8英寸）LLO設(shè)備（1臺）；
<12>（8英寸）激光晶圓切割機（1臺）；
<13>高分辨晶體x射線衍射儀（1臺）；
<14>非接觸式霍爾測試系統(tǒng)（1臺）；
<15>四探針霍爾效應(yīng)測量系統(tǒng)（1臺）；
<16>高精度掃描電子顯微鏡（1臺）；
<17>AFM設(shè)備（1臺）；
<18>半導(dǎo)體參數(shù)分析儀（1臺）；
<19>功率器件分析儀（1臺）;
<20>矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀（1臺）;
<21>半導(dǎo)體熱特性測試儀（1臺）。

6,720.00

2023年12月

本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。

墨子實驗室
2023年12月04日

附件

政府采購意向2023.12.01（墨子實驗室-自然光芯片及產(chǎn)業(yè)化項目）(1)(1).doc

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